Keramická přísavka Oxalumina je revoluční produkt v oblasti přesných manipulačních systémů. Je vyrobena z α-oxidu hlinitého (α-Al₂O₃) s čistotou ≥99,9 %, v kombinaci s umělou porézní strukturou pro dosažení optimální distribuce vakua. Ve srovnání s tradičními kovovými nebo polymerovými přísavkami toto keramické řešení zcela eliminuje riziko kontaminace částicemi a zároveň je schopno odolat extrémním teplotám (nepřetržitý provoz 1750 °C) a korozivnímu prostředí. Jeho jedinečná mikrostruktura (2-5μm jednotná velikost pórů, hustota 3,89g/cm³) zajišťuje submikronovou plochost (drsnost povrchu Ra≤0,1μm), díky čemuž je jedinou profesionální přísavnou platformou, která zvládne 300mm polovodičové destičky s přesností sání ±0,1μm.
1. Průlom v materiálovém výkonu
Tepelná stabilita: žádná deformace při cyklech tepelného šoku 800 °C a životnost 5krát delší než u přísavek ze slitiny (vysokoteplotní procesní prostředí).
Chemická odolnost: 1 rok úbytek hmotnosti 30% ponořením do kyseliny sírové je menší než 0,01 g, vhodné pro provoz s elektrolytem baterie a proces chemické depozice z par.
Izolační výkon: Síla průrazného pole dosahuje 40 kV/mm, což zajišťuje bezpečný provoz v komoře pro plazmové leptání.
2. Inovace technického designu
Kontrola pórovitosti: 40% pórovitosti je dosaženo procesem vstřikování gelu a struktura stěny pórů 1-3μm zabraňuje adsorpci a deformaci ultratenkých částí (≤50μm).
Inteligentní architektura: Vestavěný teplotní senzor podporuje řízení teploty v reálném čase od -196 ℃ do prostředí s velmi vysokou teplotou.
